ホーム ＞ 業務案内 ＞ クリーンルーム内搬送システム
		クリーンルーム内搬送には、24時間365日稼動に対応した高い信頼性、細かなニーズに対応したフレキシブル性、高クリーンに対応した構造設計など、高クリーン稼働に最適な厳しい仕様が要求されます。 株式会社シンワテクノサービスでは、長年蓄積してきた無人車システム、リニア搬送システムの技術、各種制御技術とノウハウを活かし、半導体・液晶搬送システムなど、搬送に関するトータルシステムの提供をサポートしています。 ストッカや製造装置間をキャリア搬送するリニアモータを利用した搬送装置です。 ベルト駆動で上下するホイスト機構がFOUP上部のトップフランジを利用してキャリアをハンドリングします。OHSと同じように天井を走行します。 バイパス機能により複数のベイ間を渡った装置間搬送も可能です。 高搬送量の実現・ダイレクト搬送による QTATの実現 QTAT：Quick-Turn Around Time（１つの仕事の早さ） クリーンルームの天井（頭上）を走行するリニアモータを利用した搬送装置です。 工程間を2〜3m/sの高速でキャリアを搬送することが可能です。 広いクリーンルーム内はもとより、複数のクリーンルーム間でもスピーディにキャリアを搬送します。 また、バイパス機能により高効率、高搬送能力を発揮します。 高搬送量の実現・QTATの実現 床面を走行してストッカや製造装置間のキャリア搬送を行う、多関節マニピュレータ搭載の自立形移動ロボットです。 高精度なナビゲーションシステムによりクリーンルーム内をフレキシブルに走行することが可能です。 複雑な搬送路やオープンカセットを使用する高度なクリーン環境での使用に最適です。 フレキシブルなレイアウト構築 クリーンルーム内自動倉庫です。水平多関節マニピュレータと走行軸、昇降軸で構成され、搬送システムから他の搬送システムへのキャリアの受け渡しや製造装置で処理されたキャリアを次工程へ運ぶための中間バッファ的役目を行なっています。 複数の階層とアクセスできるトールストッカ、レチクルストッカ、小規模ストッカなどニーズに合わせた対応が可能です。 優れた拡張性・基本ユニットによる柔軟性・ フロア占有面積の削減 取り扱い製品に関するご質問など、シンワテクノサービスへの お問い合わせはこちらからお願いいたします。